主要規格
工作壓力（G.）1Mpa
工作溫度-10~80℃ (PCTFE公司）
-10 ~ 150℃ (全氟辛烷磺酸）
執行機構工作壓力0.4~0.6MPa
變異係數0.2
內部、外部洩漏裕量（He）
試驗壓力≤ 1×10-2托
保持時間≥ 1分鐘1x10-10Pa·㎥/s
閥座洩漏裕量（He）
試驗壓力≤ 1×10-2托
保持時間≥ 15秒1x10-10Pa·㎥/s
顆粒檢測壓力：60~80psi
氮氣樣品體積：1CFM
0.1㎛ 更大的不算
內表面粗糙度Ry≤ 0.7㎛ 5μ英吋Ra（平均值）
