主要规格
工作压力（G.）1Mpa
工作温度-10~80℃ (PCTFE公司）
-10 ~ 150℃ (全氟辛烷磺酸）
执行机构工作压力0.4~0.6MPa
变异系数0.2
内部、外部泄漏裕量（He）
试验压力≤ 1×10-2托
保持时间≥ 1分钟1x10-10Pa·㎥/s
阀座泄漏裕量（He）
试验压力≤ 1×10-2托
保持时间≥ 15秒1x10-10Pa·㎥/s
颗粒检测压力：60~80psi
氮气样品体积：1CFM
0.1㎛ 更大的不算
内表面粗糙度Ry≤ 0.7㎛ 5μ英寸Ra（平均值）
